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VEECO
Veeco의 주요한 사업 중 하나인 Piezocon Sensor 및 Gas Mixing System은 원재료 비용 절감, 공정 반복성 향상,
시스템 가동시간 증가 등
반도체, LED, LCD 제조 업체에 직면한 중요한 문제를 해결하고자 끊임없는 R&D와 제품 서비스로
고객 만족을 최우선으로 추구하고 있습니다.
| 제품명 | 설명 |
|---|---|
| Piezocon Sensor |
Piezocon Sensor는 CVD 및 MOCVD 공정에서 사용되는 Process gas와 Chemical source의 공급량을 조절하여 Process chamber 내 Molecular 양을 일정하게 공급 유지하게 함으로써 향상된 수율을 제공합니다. |
| Precision Gas Mixing System |
Mixing gas를 사용자가 원하는 목표 농도로 Mixing 및 Tank에 저장 후 공급하고, Mixing 된 Gas의 농도 재현성을 Cylinder Gas 를 사용하는 것보다 더 향상시킵니다. (저농도 Mixing용) 주요 사용 공정은 EPI 공정이며, Dopant Gas Mixing용으로 사용됩니다. |
| Apex Gas Mixing System |
Apex Gas Mixing System을 사용하여 Mixing gas의 농도를 높은 정밀도로 유지 관리하게 하고, Mixing gas의 대량 생산을 통해 Cylinder gas를 사용할 때 보다 생산 비용 절감 효과가 우수합니다. 주요 사용 공정은 반도체 및 LED 공정의 고농도 혼합가스 Mixing 용으로 사용됩니다. |
스펙이나 가격 등 기타 자세한 사항은 이메일을 통한 견적 문의 바랍니다
Piezocon Sensor
CVD 및 MOCVD 공정에서 Piezocon Sensor는 Process Gas와 Precursor chemical의 정확한 농도 모니터링을 기반으로
우수한 재현성과 정밀하게 Gas 공급량을 제어 할 수 있어 반도체 업계에서 표준 센서로 사용되고 있습니다.
Piezocon Sensor는 전 세계적으로 5,000대 이상의 설치 및 사용을 통해 아래와 같은 검증된 기능을 제공합니다.
- Process Gas 와 Precursor chemical의 공급량을 정밀하게 제어하여 공정 재현성 향상 및 수율 증가
- Precursor Chemical의 농도에 따라 Chemical 사용량을 효과적으로 관리하여 생산비용이 절감되는 효과 발생
- 장비 및 공정 엔지니어에게 유용한 정보를 실시간 제공하여 Wafer to Wafer, Tool to Tool Matching을 가능 하도록 함
- Piezocon Sensor UI에 내장된 진단 시스템를 사용하여 Process Gas 와 Precursor chemical의 공급 오작동시 문제 해결 지원
| 번호 (No) |
설명 (Description) | 사양 (Specification) |
|---|---|---|
| 1 | Range of Concentration | 0% to 100% (binary mixture) |
| 2 | Repeatability of Measurement | 0.0007% FS 1s for TMIn/H2, 0.7%conc @250torr |
| 3 | Sensor to Sensor Reproducibility | 0.0021% FS for TMIn/H2, 0.7%conc @250torr |
| 4 | Accuracy of Measurement | 0.005% FS for TMIn/H2, 0.7%conc @250torr |
| 5 | Maximum Operating Pressure | 8000 torr (150 psia.) |
| 6 | Minimum Operating Pressure | Low Pressure Sensor 50 torr (dependent upon gas mixture specific) |
| 7 | Range of Flow Rates | 0 - 3lpm, 1- 15lpm, 10 - 50lpm, 20 - 100lpm |
| 8 | Temperature Range Sensor | 0℃ - 60℃, 0℃ - 100℃ (special) |
| 9 | Temperature Range Controller | 0℃ - 40℃. |
| 10 | Pressure Connections | Standard VCR male (Cajon®) |
| 11 | Leakage to Atmosphere | <1x10-9 cc/sec of He |
| 12 | VCR face-to-face dimension | 124mm (4.88”) |
| 13 | Weight (Sensor) | 1.3Kg. |
| 14 | Weight (Electronics) | 1.0Kg, 1-Channel Controller; 2.8Kg, 4-Channel Controller. |
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Piezocon Sensor
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Piezocon Sensor