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  • SiCO Technology

  • www.sico.at
  • 1982년 설립된 SiCO Technology GmbH 사는 Quartz 및 Silicon, Ceramic을 이용한 가공품 생산을 주력으로 하고 있으며, 2004년 미국과 독일 공장을 닫고 현재의 오스트리아(Bad Bleiberg) 공장에 그 역량을 집중하여 반도체 및 특수 분야의 제품 생산에 주력하고 있다.
  • 1. Silicon
    Silicon wafer carrier :
  • 다양한 사양의 boats
  • Wafer 크기 : 2“ ~ 12“
  • Slot 폭 : 0.3mm ~
  • Slot 수 : 20 ~ 400 slots
  • Type : horizontal 및 vertical
  • 기타 silicon 제품 :
  • Tube : up to 230mm Ø & 2300mm length
  • Diffusion tube (tube connection)
  • Ingot 및 rod
  • Plates 및 prism
  • Sputter targets :
  • Plate 형태 및 tube 형태
  • Cleanness : 5 ~ 8N
  • 2. Quartz
    SiCO는 두 종류의 Quartz glass를 생산 하고 있음
  • Natural fused Quartz glass SILUX
  • Synthetic Quartz glass (품질별 구분: SQE/SQ0/SQ1/SQ2)
  • 또한 다른 종류의 Quartz glass도 생산 가능
  • GE124, GE214, Heraeus Quartz, Tosoh...
  • 표준 제품군
  • Rods, tubes, plates, windows, blocks 등
  • 고객 주문에 따른 부품 생산 가능
  • Boats, process tubes, profiles, prototypes 등
  • Glass blowing 제품
  • Bubble free connection으로 이루어진 clear quartz 및 opaque quartz
  • 크기: up to dia 600mm & thickness 80mm
  • Furnace 장비의 Repair 및 refurbishment
  • ASM, Mattson, TEL 등
  • 3. Ceramic
    Materials:
  • Aluminium oxide : Al2O3
  • Zircon oxide : ZrO2
  • Silicon nitride : Si3N4
  • Silicon carbide : SiC, SiSiC
  • Sapphire
  • 제품구성 :
  • Tubes, rods, plates 등
  • 고객 사양에 맞춘 부품들 :
    1. connectors, profiles, rings, supporting plates, cover plats 및 pin
  • 기타 Cover rings, edge rings 등